Optikai vákuumos bevonógépek karbantartása
(1) Rendszeresen cserélje ki a diffúziós szivattyú olaját
A diffúziós szivattyú olaját körülbelül két hónapig (két műszak) kell használni. A hosszan tartó-magas-hőmérsékletű környezetek miatt, bár a diffúziós szivattyú csak viszonylag nagy vákuumnál aktiválódik, a maradék oxigén és más komponensek reakcióba léphetnek a diffúziós szivattyú olajával. A magas hőmérséklet a diffúziós szivattyú olajának lebomlását is okozhatja, ami rontja a minőségét és meghosszabbítja a szivattyúzási időt. Ha a szivattyúzási időt túl hosszúnak ítélik, ki kell cserélni.
(2) Vákuumszivattyúk: A mechanikus szivattyúolaj és a karbantartó szivattyúolaj minősége két hónapos használat után megváltozik. Ez a nedvesség, szennyeződések és egyéb tényezők beépülése miatt fordulhat elő, ami az olaj viszkozitásának romlását és a vákuum csökkenését okozhatja, ami cserét tesz szükségessé. Új berendezések esetén a cserét a használat első két hetében kell elvégezni. A szünetben-az olaj nagy koncentrációban tartalmaz vasport, ami növelheti a kopást.
(3) Tisztaság és higiénia: Rendszeresen tartsa karban a berendezés és környezete higiéniáját, tartsa tisztán a berendezés belsejét és külsejét, valamint a környező területet a megfelelő munkakörnyezet megteremtése és a biztonság biztosítása érdekében.
Takarítás anOptikai vákuum bevonógép
Egy hét működés (három műszak) után a bevonóanyag nem csak a munkadarab felületét vonja be, hanem a kamrán belüli bélést is, a nem -irányított bevonat miatt. A bevonat fokozatosan vastagabb lesz. Ez a fólia laza szerkezete és összegabalyodása miatt nagy mennyiségű gázt nyel el, aminek következtében a vákuumbevonó berendezés lassabban pumpálja a levegőt. Ekkor a kamrát és a bélést meg kell tisztítani. A szükségtelen szétszerelhető alkatrészek tisztára csiszolhatók. A bélés hidrogén-fluorsav oldatba áztatható. A hidrogén-fluorid és a víz arányát a szükséges áztatási idő és a bélésre gyakorolt kívánt hatás alapján kell meghatározni. A bélést a beszerelés előtt meg kell szárítani. Szárítás előtt törölje le a bélést a lehető legszárazabbra. Miután megtisztította a munkakeretet és más alkatrészeket csiszolópapírral, távolítson el minden port a vákuumkamrából. Ezt porszívóval lehet megtenni. Végül a bélés felszerelésekor a vákuumkamrát és a bélést is meg kell tisztítani alkohollal{12}}ellenőrzött törlőkendővel. Az elektronágyú és az ionforrás használata a bevonatolás elősegítésére megnehezítheti a tisztítást; homokfúvás vagy egyéb tisztítási módszer alkalmazható.
