Sok PVD projektben gyakran találkozunk egy nagyon tipikus problémával:
Ugyanazon a munkadarabon egyes területek nagyon vastagok, míg mások nagyon vékonyak, néha nagyon nyilvánvaló eltérésekkel.
Sokak első reakciója: Probléma van a forgó kerettel? Egyenetlen a forgás?
Így kezdik: A motor ellenőrzése, a fordulatszám beállítása, a szerelvény optimalizálása.
De az eredmény gyakran a következő: korlátozott javulás, vagy akár semmi változás.
Ez egy kulcsfontosságú pontot szemléltet:
Az egyenetlen vastagság nemcsak „forgási probléma”, hanem „plazmaeloszlási probléma” is.
Először is, a következtetés: Ez egy "térbeli eloszlási probléma".
A film vastagsága alapvetően attól függ: az egységnyi idő alatt a felületet elérő atomi fluxus.
És ez a fluxus gyakran térben nem{0}}egyenletes.
Más szóval: a munkadarab által befogadott "anyagáramlás" különböző helyeken változik.
Második. Mit old meg pontosan a forgatás?
Sokan a következőképpen értelmezik a rotációt:
"Tegye egyenletessé a filmréteget"
De a pontosabb megértés:
A forgatás csak "átlagolja az egyenetlenségeket", nem pedig megszünteti.
Egy egyszerű példa: Ha a plazma eloszlása: az egyik oldalon erős, az egyik oldalon gyenge, elforgatás után: A munkadarab időszakosan áthalad az erős és gyenge tartományokon. The result: An "average value" is obtained.
De a feltevés:
A különbség nem lehet túl nagy
Ha túl nagy a különbség:
Hiába forgatod, sosem lesz teljesen egyenletes.
Harmadik. Mikor van a "forgási probléma"?
1. jellemző: A vastagság időszakosan változik
Például:
A vastagság minden fordulattal rendszeresen változik
2. jellemző: Rossz konzisztencia a különböző munkadarabok között; van amelyik jó, van aki rossz.
3. jellemző: Jelentős javulás a sebesség beállításában.
Gyakori okok: Instabil forgási sebesség; Forgási excentricitás; Aszimmetrikus munkadarab elhelyezés.
Következtetés: A forgási problémák fő problémája az "egyenetlen időeloszlás".
Tovább. Mikorról van szó "plazmaproblémáról"? (Gyakoribb)
1. jellemző: Mindig vastag egy bizonyos irányban
Nem számít, hogyan forog, ez a régió mindig vastagabb.
2. jellemző: Általános "térbeli eltolás"
Például: A célhoz közelebbi oldal vastagabb, míg a távolabbi oldal vékonyabb.
3. jellemző: Minden munkadarab hasonló mintázatot mutat.
Gyakori okok:
1. Egyenetlen mágneses téreloszlás; Egyenetlen célerózió; Egyenetlen plazma sűrűség
2. Az üreg szerkezetének hatása: Elzáródás, Reflexió
3. Több-cél interferencia: Egyenetlen szuperpozíció a különböző célpontok között.
4. Indokolatlan munkadarab pozíció kialakítás
Következtetés:
A plazmaprobléma magja az "egyenetlen térbeli forrás"
Ötödik. Kulcsfontosságú tévhit
Sokan, amikor egyenetlenséggel szembesülnek,
első reakciójuk a forgás beállítása. De a valóságban: a forgatás csak enyhíteni tudja a problémát, nem gyógyítja.
Ha a kiváltó ok a plazma súlyos inhomogenitása, akkor a forgási sebesség növelése csak átmeneti megoldás.
Hatodik. Hogyan lehet gyorsan meghatározni a probléma típusát?
Íme egy gyakorlati módszer:
1. módszer: Rögzítse a munkadarabot (forgás nélkül)
Figyelje meg: Filmvastagság eloszlás
Ha ezen a ponton: Az eloszlás már erősen egyenetlen; Következtetés: Plazma probléma.
2. módszer: Változtassa meg a forgási sebességet
Ha:
A forgási sebesség változása → Jelentős változás az egyenletességben
Következtetés: Rotációs probléma
3. módszer: Változtassa meg a munkadarab helyzetét
Ha: Helyzetváltás → Eloszlás változása
Következtetés: Térbeli eloszlási probléma
Hetedik. Valóban hatékony optimalizálási stratégiák
1. A "térbeli eloszlás" kezelésének prioritása
Optimalizálja a célpozíciót; a mágneses mező beállítása; az üreg szerkezetének javítása
2. A rotációs stratégia további optimalizálása
Forgási sebesség
Forgási pálya
Oszcilláló mód
3. Optimalizálja a munkadarab elhelyezését: Kerülje el az akadályokat és javítsa a szimmetriát.
4. Több-célú együttműködési tervezés: Lehetővé teszi, hogy különböző célpontok "egyenletes szuperpozíciót" alkossanak.
Nyolcadik. Kulcsfontosságú kognitív fejlesztés
Sokan a következőképpen értik a problémát:
"Az egyenetlen membránszerkezet mechanikai probléma."
De egy alapvetőbb megértés:
Ez az "egyenetlen tömegközlekedés" problémája.
Más szóval, az anyag útja a céltól a munkadarabig térben nem egyenletes.
Kilencedik. Végső összefoglaló
A nagy vastagságkülönbség ugyanazon a munkadarabon forgással vagy plazmával{0}} kapcsolatos probléma?
A válasz:
Ez lehet forgási probléma, de gyakrabban plazmaelosztási probléma. A legfontosabb különbség a következő:
Rotációs kérdések → időbeli egyenetlenségek; Plazmával{0}} kapcsolatos problémák → térbeli egyenetlenségek.
