Vákuumos bevonógépfőként egy olyan bevonattípusra vonatkozik, amelyet viszonylag nagy vákuum alatt kell végrehajtani, beleértve a sokféle típust, beleértve a vákuumionos elpárologtatást, a magnetronos porlasztást, az MBE molekulasugaras epitaxiát, a PLD lézeres porlasztásos leválasztást stb. A fő gondolat az, hogy ezt két típusra osztjuk: párologtatásra és porlasztásra.
A gradiens színeljárás általában magnetronos porlasztó bevonóberendezést használ. Jelenleg számos mobiltelefon-modell, például a Huawei és a Lenovo, színátmenetes burkolata PVD vákuumos gradiens bevonási eljárást alkalmaz.
A magnetronos porlasztás a fizikai gőzleválasztás egyik fajtája (Physical Vapor Deposition, PVD). Az általános porlasztásos módszer fémek, félvezetők, szigetelők és egyéb anyagok előállítására használható, és előnye az egyszerű berendezés, a könnyű vezérlés, a nagy bevonatfelület és az erős tapadás.
Az 1970-es években kifejlesztett magnetronos porlasztásos módszer nagy sebességet, alacsony hőmérsékletet és alacsony károsodást ért el. Mivel a nagy sebességű -porlasztás alacsony nyomáson történik, a gázionizációs sebességet hatékonyan kell növelni. A mágneses porlasztás mágneses teret vezet be a célkatód felületére, és a mágneses mező segítségével korlátozza a töltött részecskéket, hogy növelje a plazma sűrűségét a porlasztási sebesség növelése érdekében.
A Magnetron porlasztó vákuumbevonó gép a leggyakrabban használt berendezés a meglévő termékek vákuumkörülmények közötti bevonására. A komplett magnetronos porlasztó vákuumbevonatoló gép a rendszer több részéből áll. Mindegyik rendszer különböző funkciókat hajthat végre a végső, jó minőségű-bevonat elérése érdekében. A magnetron porlasztó bevonat összetevői közé tartozik a vákuumkamra, mechanikus szivattyú, vákuum tesztrendszer, olajdiffúziós szivattyú, vákuumrendszer, kondenzációs szivattyú, filmképző rendszer stb.
A magnetronos porlasztó vákuumbevonó gép fő teste a vákuumkamra. A vákuumkamra méretét a feldolgozott termékek határozzák meg. A magnetron porlasztó bevonat mérete testreszabható. A kamra általában rozsdamentes acélból készül, és erősnek, tartósnak és rozsdamentesnek kell lennie. A magnetron porlasztó bevonatú vákuumkamra számos csatlakozószeleppel rendelkezik a különféle segédszivattyúk csatlakoztatásához.
A magnetron porlasztó bevonat filmképző vezérlőrendszer különböző módszereket alkalmazhat, például rögzített bevonási időt, szemrevételezést, extrém megfigyelést és kristályrezgés figyelést. A vákuumbevonó gépek és a vákuumbevonatoló gépek bevonási módszerei is különböző folyamatokra oszlanak. A leggyakrabban használtak közé tartozik az ionpárologtató bevonat és a magnetronos porlasztó bevonat. A magnetronos porlasztással bevont filmréteg erős adhéziós és nagy tisztaságú, és különböző összetételű anyagokat képes egyidejűleg porlasztani.
