Az elektronsugaras elpárologtatású vákuumbevonó berendezést általában AR/AF bevonatok, köztük keményfóliák, dekoratív fóliák, ITO-fóliák, sávszűrők és HR-fóliák felhordására használják. Olyan előnyökkel büszkélkedhet, mint a nagy hatékonyság, az erősebb termelési kapacitás és az alacsonyabb gyártási költségek. AR filmeknél (az üvegfelület áteresztőképessége > 91,5%) a 420-680 nm-es hullámhossz-sávban az egyoldali átlagos áteresztőképesség > 95% és a reflektancia < 0,5% (átlag). A kétoldali átlagos áteresztőképesség > 98% és a reflektancia < 0,5% (átlag). Széles piaci alkalmazásai vannak.
A vákuumpárologtatásos bevonási technológia abból áll, hogy az elpárologtató anyagot vízhűtéses acéltégelybe helyezik, és közvetlenül felmelegítik egy elektronsugárral. A párolgó anyag elpárolog, majd lecsapódik a hordozó felületére, és filmet képez. Ez egy fontos fűtési módszer és egy fejlődő tendencia a vákuumpárologtatásos bevonat technológiájában. Az elektronsugaras párologtatás kiküszöböli a hagyományos ellenállásos melegítéssel történő párologtatás számos hátrányát, és különösen alkalmas magas -olvadáspontú- és nagy-tisztaságú vékonyréteg-anyagok előállítására.
Az elektronsugaras bepárláson alapuló vákuumpárologtatási technológiát az elektronsugaras elpárologtatási forrás formája alapján több típusba sorolhatjuk, beleértve a gyűrűs ágyúkat, az egyenes ágyúkat, az E{0}} típusú ágyúkat és az üreges katódú elektronágyúkat.
A gyűrűs pisztoly elektronsugarat bocsát ki egy gyűrű alakú katódról. A fókuszálás és az eltérítés után a sugár egy olvasztótégelybe ütközik, ami a fém elpárolgását okozza. Felépítése viszonylag egyszerű, de teljesítménye és hatásfoka alacsony, így elsősorban laboratóriumi készülék; a termelő létesítményekben már nem használják.
Az egyenes pisztoly egy tengelyszimmetrikus lineáris gyorsító, amelyben az izzószál katódja elektronokat bocsát ki, finom nyalábbá fókuszálva, az anód által felgyorsítva, majd egy tégelybe ütközik, megolvasztva és elpárologtatva a bevonóanyagot. Az egyenes fegyverek teljesítménye több száz watttól több száz kilowattig terjed; egyeseket vákuumpárologtatásra, míg másokat vákuumos olvasztásra használnak. Az egyenes fegyverek hátránya, hogy az elpárolgott anyag szennyezheti a fegyver szerkezetét, működési instabilitást okozva. Ezenkívül az izzószálból kilépő nátriumionok is szennyezhetik a bevonatot. A közelmúltban egy nyugatnémet cég kifejlesztette az egyenes ágyú továbbfejlesztett változatát úgy, hogy az elektronsugár kijáratánál eltérítő mágneses mezőt, és az izzószálnál független evakuációs rendszert építettek be. Ez nemcsak teljesen megszünteti a bevonat izzószál-szennyeződését, hanem növeli a pisztoly élettartamát is.
Az e-típusú elektronágyú 270- fokos eltérítésével kiküszöböli az egyenes-ágyú elektronpárologtatásának hiányosságait, és az egyik legszélesebb körben használt elektronsugaras párolgási forrás. Az e-típusú elektronágyú nagy teljesítménysűrűséget generál, megolvasztja a magas-olvadáspontú-fémeket, és nagy energiájú párolgási részecskéket termel, ami erős kötést és jó filmminőséget eredményez a film és a hordozó között. Hátránya, hogy az elektronágyú nagy vákuumot és negatív nagyfeszültséget igényel, ami bonyolult berendezésszerkezethez, rossz biztonsághoz, karbantartási nehézségekhez és magas költségekhez vezet.
Az üreges katód elektronágyú fűtőforrásként alacsony{0}}feszültségű, nagy-áramú üregkatódos kisüléssel generált plazma elektronsugarat használ. Katódként üreges tantálcsövet, anódként egy tégelyt és a tantálcső közelében egy segédanódot használ. Az üreges katódú elektronágyúval végzett gőzleválasztás során a keletkező párolgási ionok nagy energiával és nagy ionizációs sebességgel rendelkeznek, ami kiváló minőségű filmeket eredményez. Az üreges katód elektronágyú alacsonyabb vákuumszintet igényel, mint az e- típusú elektronágyú, és alacsony feszültségen működik, így a berendezés viszonylag egyszerűbb, biztonságosabb és olcsóbb. Jelenleg hazánkban mind az e-típusú, mind az üregkatódos elektronágyúkat sikeresen alkalmazzák gőzleválasztásos és ionos bevonó berendezésekben. A pisztoly teljesítménye elérheti a több tízezer kilowattot, és különféle vékony filmeket raktak le olyan iparágak számára, mint a gépipar és az elektronika.
Az elektronsugaras elpárologtatós vákuumbevonó berendezésekben a párolgási forrás előnyei a következők:
1) Az elektronsugaras bombázó hőforrás nagy nyaláb áramsűrűséggel rendelkezik, sokkal nagyobb energiasűrűséget érve el, mint az ellenállásos fűtőforrások. Akár 3000 Celsius fokig képes elpárologtatni az anyagokat, magas párolgási sebességgel;
2) Mivel az elpárologtatott anyagot vízhűtéses tégelybe helyezik, elkerülhető a tartály anyagának elpárolgása, valamint a tartály anyaga és a párologtató anyag közötti reakciók, ami döntő fontosságú a bevonat tisztaságának javítása szempontjából;
3) A hő közvetlenül alkalmazható a párologtató anyag felületére, ami magas hőhatékonyságot és minimális hővezetési és sugárzási veszteséget eredményez.
